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http://cidesi.repositorioinstitucional.mx/jspui/handle/1024/453| Trasducción de energía electromagnética con tecnología CMOS | |
| SALATIEL GARCIA MORENO | |
| Manuel Bandala Sánchez | |
| Acceso Abierto | |
| Atribución-NoComercial | |
| MICROMOTOR- CAPACITANCIA VARIABLE | |
| Esta tesis presenta el diseño, modelado analítico y simulación de un micromotor electrostático basado en tecnología MEMS. Los micromotores electristáticos existentes conllevan obstáculos que son inherentes a su geometría o proceso de fabricación, en algunos de ellos la potencia generada no es suficiente para poder ser aprovechada, otros son inestables o su proceso de fabricación es demasiado complejo. En cambio, la geometría propuesta es capaz de generar un nivel de fuerza electróstatica utilizable en microsistemas y además, no es necesarion ningún tipo de ensamble o postproceso para obtener un prototipo estable. | |
| 2020-05 | |
| Tesis de doctorado | |
| Español | |
| MX | |
| Investigadores Público en general | |
| MICROELECTRÓNICA | |
| Aparece en las colecciones: | Diseño y fabricación de MEMS |
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| Fichero | Descripción | Tamaño | Formato | |
|---|---|---|---|---|
| D-SGM-2020.pdf | 2.68 MB | Adobe PDF | Visualizar/Abrir |